「淺行阿闍棃」之對稱。深行，深祕之行業，即初地以上之行業。有廣狹二義：就狹義而言，初地以上證悟諦理與大日如來同位之阿闍棃，即稱深行阿闍棃；又就廣義而言，指第二無畏以上之阿闍棃，亦稱出世間深行阿闍棃。據大日經義釋演密鈔卷五載，若同毘盧遮那智業圓滿者，智即是觀自身為大日身業，即觀自身同薩埵，若如是者，即稱深行阿闍棃。〔大日經疏卷三、大日經疏演奧鈔卷二〕（參閱「十重深行」461） p4658