（術語）定之別名。梵名三摩鉢底，在定中，身心平等安和謂之等，定能令至此平等位，故名為等至。是唯定而非散。通於有心無心，若有心定，則其心離昏沈與掉舉而為平等，謂之等，以定力得至此等，故謂之等至，若無心定，則約定中依身大種平等，而名為等至。外有等持等引之二、見三昧條。唯識述記六上曰：「在定定數勢力令身心等有安和相。至此等位名為等至。（中略）三摩鉢底，此云等至。」見等持條。